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無(wú)塵車(chē)間
說(shuō)明：無(wú)塵車(chē)間也叫潔凈廠房、潔凈室、無(wú)塵室。由于生產(chǎn)工藝種類(lèi)繁多，對(duì)潔凈度等級(jí)要求也不同，高的很高，低的很低；對(duì)粒子粒徑控制的要求也不同，范圍約為0.1~5um；對(duì)…
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無(wú)塵車(chē)間也叫潔凈廠房、潔凈室、無(wú)塵室。由于生產(chǎn)工藝種類(lèi)繁多，對(duì)潔凈度等級(jí)要求也不同，高的很高，低的很低；對(duì)粒子粒徑控制的要求也不同，范圍約為0.1~5um；對(duì)溫濕度控制的要求相對(duì)較 高，如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃（精度±0.1~±1℃），相對(duì)濕度基數(shù)為40%（精度±2~±5℃；正壓值要求的梯度級(jí)別，隨著潔凈度的變化而從高到低變化，差值5~10Pa。
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